——功率器件热结构缺陷分析
编写:李少平
功率器件工作时消耗电功率,并将电能率转变热能,功率器件产生的热功率
等于消耗的电功率,如三极管的热功率为VCE ×IC 、场效应管的热功率为VDS ×
ID 、三端稳压器的热功率为(Vi-Vo )×Io、整流二极管的热功率为VD ×I D 。
功率器件工作中产生的热通过芯片的烧结料——过渡片或陶瓷片(有的器件有此
结构,有的器件无此结构)——管壳——散热器(或空气)传输。
功率器件的热结构示意图将图1,功率器件结到壳的热传输性能通常用热阻
RT jc 表示,R Tjc 由芯片的烧结界面、过渡片或陶瓷基片(如果存在的话)的烧结
质量,烧结材料及过渡片或陶瓷基片的导热性能等决定。

图1 功率器件热传输路径示意图
如果功率器件界面烧结存在缺陷,直接影响功率器件RTjc 。
P=(Tj-Tc)/R jc
Tj=P ×R jc +Tc
由于功率器件存在热缺陷,引起R jc 增大,导致功率器件在正常工作时结
温度更高。功率器件结温高,将降低功率器件的工作寿命,热结构缺陷严重时,
可引起功率器件正常工作时结温度过高而产生热奔击穿失效。
功率器件热缺陷通常为:烧结缺陷包括烧结材料空洞和烧结界面两种不同金
属不能形成良好的金属间化合物。
热性能参数通常不是功率器件出厂前的必检参数,而功率器件的电参数不能
直接显示热缺陷状态,因此,如果烧结工艺出现异常,出厂的产品比较难从电性
能参数的的检测发现热结构缺陷。
因此,在失效的功率器件中,属于芯片烧结缺陷引起的芯片过热失效的比例
大。
功率器件热结构缺陷分析案例
①3DF10C 金属封装大功率三极管热结构缺陷案例:
样品外观检图2,样品在整机开展试验的时候发生失效。
失效样品经C-SAN (声学扫描)观察发现,芯片烧结界面存在大量空洞,
严重者,几乎整个烧结面都不能形成有效的烧结。C-SAN 形貌见图3、图4。
X-RAY 观察可见芯片烧结明显存在空洞,典型X-RAY 形貌见图5。
样品经开封后,内部观察可见,芯片的烧结料严重流失,见图6。



现象,进一步证明芯片的烧结质量极差,芯片与壳分离的形貌见图7。
2 失效样品外观形貌
芯片表面呈现过热击穿特征,见图8。

案例提示:
功率器件工作过程中产生热量,热量必须通过有效的途径传输到管壳,然后
由管壳传输到外部散热器或空气中,如果功率器件热结构存在缺陷,显然引起芯
片结温显著上升,结温上述结果:或缩短功率器件的寿命,或直接引起芯片过热
而热奔失效,
案例显示,C-SAN、X-RAY 是分析功率器件热结构缺陷的有效手段。
功率器件结温不能(或难以)直接进行检测,热阻RTjc 的检测复杂,可采
用C-SAN 观察分析,并结合X-RAY 的观察结果,评价功率器件的热结构。
C-SAN、X-RAY 均属于无损分析、检测,适应于功率器件批抽样检测,
也适应于对怀疑批开展100%的筛选。 芯片边,芯片烧结面形貌