MEMS 及微机械加速度计可靠性研究 可靠性动态 07年10月17日 编辑 可靠性 取消关注 关注 私信 摘要： 由于 MEMS 器件的应用日益频繁，MEMS可靠性研究就显得十分重要。文中介绍了引起可靠性问题的方面。最后以微机械加速度计为例，指出了微加速度计的可靠性问题，以及对其可靠性测试研究的内容。 给TA打赏 共{{data.count}}人 人已打赏
