器件结构参数及工艺对 ESD 的影响 可靠性动态 07年10月17日 编辑 可靠性 取消关注 关注 私信 摘要： 随着深亚微米时代的到来，工艺的不断进步，器件尺寸成比例缩小， IC 的抗静电能力显得更加重要，本文综述了部分器件结构，参数及工艺流程对器件抗 ESD 性能的影响。 给TA打赏 共{{data.count}}人 人已打赏
