4/22上海场先进制程TEM材料分析研讨会

先进制程的开发是否到位，材料的结构与元素分析能力往往是关键，尤其当制程进入28纳米以下世代，纳米元件尺寸不断微缩，各端连接线结构极为细致，在此细微结构下，往往会因材料表面与微结构的污染或缺陷，使得其物性、电性及化性起变化，干扰原先产品的设计与特性。

然而许多传统分析方法，并不能有效的解决先进制程材料所带来的失效问题。此时可达原子级解析度、且兼具化学成分分析功能的穿透式电子显微镜(TEM)，将是分析上的唯一解決方案。

TEM除了可应用在半导体先进制程材料分析外，在LED产业亦扮演重要角色。决定LED发光特性最关键的磊晶制程，就必须高度仰赖TEM来控制制程参数。然而TEM的原理及操作模式相当复杂，分析时往往令非本行业出身的人员感到头痛，透过本次研讨会专家的解说，期望让与会来宾与业界精英能从中学习到：

	如何更加正确地理解TEM原理，解读TEM数据?
	如何更加有效地利用TEM/STEM分析，来解决材料或制程上的问题？

时间	內容	主讲人
13:00-13:30	报到
13:30-14:40	TEM基本原理介紹 TEM基本功能介绍与数据解读 TEM主要应用模式介绍	iST宜特科技材料分析工程部经理陈聲宇博士
14:40-15:00	中场休息
15:00-16:10	新颖TEM应用与案例解析先进半导体制程与结构分析三五族半导体(LED,砷化镓)分析逆向工程分析	iST宜特科技材料分析工程部经理陈聲宇博士
16:10-16:30	Q&A

讲师简介

陈聲宇博士

	现任职：	iST宜特科技材料分析工程部经理
	经历：	毕业于国立清华大学，曾任职于台积电(TSMC)研究发展处，现为宜特科技材料分析工程部经理，从事TEM相关研究超过7年，论文发表遍及《ACS nano》及《Nano letter》等知名国际期刊。

报名信息

参加对象：

半导体厂RD/PE/FA/QA人员、IC设计公司FA或逆向工程人员、LED磊晶或模组厂人员

研讨会时间：

2015年4月22日(星期三)

研讨会地点：

上海博雅酒店（上海市浦东新区碧波路699号）

洽询专线：

iST宜特业务窗口	+86-21-61910691 分机 2280 何小姐 Email: sisy@isti.com.cn
iST宜特报名窗口	+86-512-5763-9600 分机 6502 方小姐 Email: is@isti.com.cn

报名方式：

请点选此处进行在线报名。

参加费用：

即日起额满为止，欲报从速。(一间公司限2名，报名成功确认以主办单位回复为主)

注意事项

	主办单位保留报名资格之最后审核权利，并于活动前一周以E-mail寄发「课前通知」，以示您的参加资格。请于活动开始前进行报到。
	未能准时报到或当天无法出席的学员，恕无法为您保留讲义与座位。
	若因不可预测的突发因素，主办单位保留变更论坛时间、议程内容及相关事项之权利。
	现场报名的学员，主办单位视现场状况保有开放进场与否之权利。