isablewawa 发表于 2013-4-26 10:01:11

求助：MSL后SAT有红区，切割后对是否分层的判定

请教各位大师

产品MSL后的SAT出现红区，crosssection后SEM需要放大到4000以上才能看出明显的分层现象，甚至有时需要放到更大的倍数才能看出来分层

是否有标准针对这种现象作定义，如何判断是否确实有分层存在
不光是面积方面，包括Z轴放大的高度是否有定义。
总不能SEM时一直放大倍数来看吧
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