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求助:MSL后SAT有红区,切割后对是否分层的判定

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发表于 2013-4-26 10:01:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位大师

产品MSL后的SAT出现红区,crosssection后SEM需要放大到4000以上才能看出明显的分层现象,甚至有时需要放到更大的倍数才能看出来分层

是否有标准针对这种现象作定义,如何判断是否确实有分层存在
不光是面积方面,包括Z轴放大的高度是否有定义。
总不能SEM时一直放大倍数来看吧
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