4/22上海场 先进制程TEM材料分析研讨会

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[p=25,null,left]先进制程的开发是否到位，材料的结构与元素分析能力往往是关键，尤其当制程进入28纳米以下世代，纳米元件尺寸不断微缩，各端连接线结构极为细致，在此细微结构下，往往会因材料表面与微结构的污染或缺陷，使得其物性、电性及化性起变化，干扰原先产品的设计与特性。

[p=25,null,left]然而许多传统分析方法，并不能有效的解决先进制程材料所带来的失效问题。此时可达原子级解析度、且兼具化学成分分析功能的穿透式电子显微镜(TEM)，将是分析上的唯一解決方案。

[p=25,null,left]TEM除了可应用在半导体先进制程材料分析外，在LED产业亦扮演重要角色。决定LED发光特性最关键的磊晶制程，就必须高度仰赖TEM来控制制程参数。然而TEM的原理及操作模式相当复杂，分析时往往令非本行业出身的人员感到头痛，透过本次研讨会专家的解说，期望让与会来宾与业界精英能从中学习到：

[p=25,null,left]如何更加正确地理解TEM原理，解读TEM数据?

[p=25,null,left]如何更加有效地利用TEM/STEM分析，来解决材料或制程上的问题？

时间 內容 主讲人 13:00-13:30 报到 13:30-14:40 TEM基本原理介紹 TEM基本功能介绍与数据解读 TEM主要应用模式介绍 iST宜特科技材料分析工程部经理 陈聲宇博士 14:40-15:00 中场休息 15:00-16:10 新颖TEM应用与案例解析 先进半导体制程与结构分析 三五族半导体(LED,砷化镓)分析 逆向工程分析 iST宜特科技材料分析工程部经理 陈聲宇博士 16:10-16:30 Q&A

讲师简介
陈聲宇博士

	现任职：	iST宜特科技材料分析工程部经理
	经历：	毕业于国立清华大学，曾任职于台积电(TSMC)研究发展处，现为宜特科技材料分析工程部经理，从事TEM相关研究超过7年，论文发表遍及《ACSnano》及《Nanoletter》等知名国际期刊。

报名信息

参加对象： 半导体厂RD/PE/FA/QA人员、IC设计公司FA或逆向工程人员、LED磊晶或模组厂人员 研讨会时间： 2015年4月22日(星期三) 研讨会地点： 上海博雅酒店（上海市浦东新区碧波路699号） 洽询专线： iST宜特业务窗口 +86-21-61910691分机2280何小姐 Email:sisy@isti.com.cn iST宜特报名窗口 +86-512-5763-9600分机6502方小姐 Email:is@isti.com.cn 报名方式： 请点选此处进行在线报名。 参加费用： 即日起额满为止，欲报从速。(一间公司限2名，报名成功确认以主办单位回复为主)

注意事项

主办单位保留报名资格之最后审核权利，并于活动前一周以E-mail寄发「课前通知」，以示您的参加资格。请于活动开始前进行报到。 未能准时报到或当天无法出席的学员，恕无法为您保留讲义与座位。 若因不可预测的突发因素，主办单位保留变更论坛时间、议程内容及相关事项之权利。 现场报名的学员，主办单位视现场状况保有开放进场与否之权利。

主办单位:

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先进制程TEM材料分析研讨会，羡慕上海同仁有这么好的机会可以参加学习。