半导体器件芯片内部失效分析芯片内部分层，孔洞气泡失效分析

wu_kh

C-SAM的叫法很多有，扫描声波显微镜或声扫描显微镜或扫描声学显微镜或超声波扫描显微镜(Scanningacousticmicroscope）
总概c-sam(sat)测试。
其主要是针对半导体器件,芯片，材料内部的失效分析．其可以检查到:１.材料内部的晶格结构，杂质颗粒．夹杂物．沉淀物．2.内部裂纹.3.分层缺陷.4.空洞,气泡,空隙等.如果对分析芯片封装中的应用.感兴趣的话大家可以一起讨论哦。
MLCC器件的内部失效分析方法.

超声波扫描分析（超声波扫描显微镜C-SAM测试）
扫描超声方法是分析多层陶瓷电容器的最重要的无损检测方法。可以十分有效地探测空洞、分层和水平裂纹。由于超声的分析原理主要是平面反射，因而对垂直裂纹如绝大多数的烧结裂纹、垂直分量较大的弯曲裂纹的分辨能力不强。同时一般多层陶瓷电容器的检测需要较高的超声频率。图2为典型的空洞和分层的扫描超声检测结果。

德国KSI科学仪器公司超声波显微镜在世界上的领先地位
一，1990年，世界上第一个做出频率超过GHz的超声波扫描显微镜，到目前为止，其他同类仪器公司只能做到200MHz左右；
二，1991年，世界上第一个在超声波显微镜中做出GHzV(z),V(f)定量测量系统；
三，1996年，推出世界上第一台数字超声波显微镜；
四，1998年，世界上第一个做出带有球面透镜的超声波换能器；
五，2002年，世界上第一个在超声波显微镜上实现材料阻抗测量；
六，2004年，世界上第一个在超声波显微镜扫描控制平台中采用空气垫悬浮线性马达驱动的超高精度X-Y扫描系统；
七，2004年，世界上第一个实现超声波显微镜自动对焦系统，并受到专利保护；
八，2004年，世界上第一个实现多探头同时扫描大件样品的超声波显微镜系统，并受到专利保护。

[本帖最后由wu_kh于2009-7-211:29编辑]

wu_kh

超声波扫描显微镜（扫描频率最高可以达到２Ｇ）．扫描分辨率0.1微米.最小扫描范围为0.25mm*0.25mm.是一种非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气性能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的用在物料检验(IQC)、失效分析(FA)、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D))等领域。其可以检查到:１.材料内部的晶格结构，杂质颗粒．夹杂物．沉淀物．2.内部裂纹.3.分层缺陷.4.空洞,气泡,空隙等。

在一个较小尺寸的范围内，超声波会由于材料的物理特性发生相互作用。一旦材料的特性发生变化，样品内部的超声波就会被吸收、散射和反射。因为超声波无法很好通过空气进行传播，所以样品内的微小缝隙会被很容易的检测到。利用超声波的这种特性，可以把半导体材料内部的诸如分层，裂缝等的缺陷和不透光材料中的空隙等缺陷，成像在高分辨率的图像上，给材料的可靠性分析带来方便。
　主要应用范围：
·晶元面处脱层
·锡球、晶元、或填胶中之裂缝·
晶元倾斜·各种可能之孔洞（晶元接合面、锡球、填胶…等）
·覆晶构装之分析

C-SAM的主要特性：
非破坏性、无损伤检测内部结构可分层扫描、多层扫描实施、直观的图像及分析缺陷的测量及百分比的计算可显示材料内部的三维图像对人体是没有伤害的可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞、晶界边界等）

C-SAM的主要应用领域：
半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等；生物医学：活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等；