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电子元器件失效分析技术 信息产业部电子五所可靠性分析中心 费庆宇 基本概念和失效分析技术 失效的概念 失效定义 1特性剧烈或缓慢变化 2不能正常工作 3不能自愈 失效种类 1致命性失效:如过电应力损伤 2缓慢退化:如MESFET的IDSS下降 3间歇失效:如塑封器件随温度变化间歇失效 失效物理模型 应力-强度模型 失效原因:应力>强度 强度随时间缓慢减小 如:过电应力(EOS)、静电放电(ESD)、闩锁(latchup) 应力-时间模型(反应论模型) 失效原因:应力的时间累积效应,特性变化超差。如金属电迁移、腐蚀、热疲劳
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