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发表于 2009-4-8 14:24:12
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个人对楼上的理解不敢苟同。
首先高温对集成电路(包括CPU)的老化作用加速作用是全方位的,比如PN结、以及构成芯片的所有材料,包括金属化多层布线、层间氧化层、场氧、栅氧、PN结、扩散层、TDDB等等,也包括封装材料如金属键合丝、键合点(包括楔形键合、球形键合、以及后来的FC倒装凸点连接方式)、引线框架、芯片粘接以及封装材料(环氧树脂、陶瓷、金属等等),高温的所有对上述所有结构和材料体本身都会起到一个加速老化的作用。任何一个“节点”因老化而发生特性退化或功能失效,芯片都会失效,这就就是芯片老化失效的机理。
而楼主提到的电迁移,首先从名字上可以看出,这和电相关,只要有电流,不管有没有温度作用,电迁移都会发生,而关系最密切的并不是温度,而是电流密度,通常对于铝布线,我们一般认为金属化布线能安全工作的最大电流密度是1E+6A/cm2,如果是铜的话可以再高一个数量级,这里的作用机理主要就是电流。电迁移的重要特点就是定向移动,金属原子的移动方向与电流方向相反。最终出现的结果可能是短路,也可能是开路,视具体结构而定。
实际上与电迁移相对的另外一种是热迁移,是一种扩散作用,在绝对零度以上的环境下,在两种不同“材料”(包括材料成分不同、参杂浓度不同的界面处发生,比如PN结,比如两种金属的结合面,这种材料可以是单质,也可以是合金、混合物)。从名字上可以看出,温度对这种作用的影响是绝对性的,温度越高,这种作用会越明显。不同物质在同种材料(或不同种材料)中的扩散速度是不一样的,这就导致材料会在界面处材料特性的连续性出现问题,严重时材料特性或功能发生退化甚至功能完全丧失。与电迁移相同,最终出现的结果同样是短路,也可能是开路,视具体结构而定。
一般情况下,上述两种作用机理在芯片工作时是同时存在的,在科研上,专门研究某一机理的人,就是要想尽办法加速某种机理,要排除另外一种机理的干扰,这是一个科研难题。
总而言之,热对电迁移作用加速比较明显,但绝对因素还是电流密度。此外就是热对芯片的老化加速不仅仅是电迁移一个方面,这是个复杂的变化,有多种失效机理。 |
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