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IC产品可靠性简介
謝國華荷聯華電子公司
品質與可靠度保證部副理
摘要
隨著IC製程技術的進步與品質意識的不斷提昇，人們對IC產品可靠度之要求也越來越高。
本文簡介IC產品故障率對時間的關係-浴缸曲線(bathtubcurve)、IC產品故障率FIT的計算、IC產品可靠度的評估方式
-加速測試的理論與模型及主要的IC產品可靠度測試項目。讓大家對IC產品可靠度有一簡單的認識。
關鍵詞
可靠度(Reliability)；浴缸曲線(bathtubcurve)；故障率單位(FailureunIT,FIT)；
加速測試(AcceleratedTesting)；加速因子(AccelerationFactor)
前言
近年來，IC工業已成為我國重要的經濟來源。而IC技術的發展更是突飛猛進，並不斷與先進國家縮小差距，甚至超過。也由於人類對IC的依賴日深，因此半導體技術不斷朝更細線寬的微細加工技術發展。從90年代初期的次微米技術，進步到2000年的0.18微米的深次微米技術。不僅在面積上縮小50倍以上，更大幅提昇了IC的性能與應用範疇。同時隨著技術的進步，人們對品質的要求亦不斷的提高。而可靠度又為品質的核心，故人們對IC可靠度之要求也就越來越嚴苛。圖一為SIA(SemiconductorIndustryAssociation)對IC可靠度預測的里程碑[1]。圖中說明代表IC可靠度的長期故障率(Longtermfailurerate)從90年代的數十FIT(FailureunIT)的要求，進步到現今數FIT的要求。 |
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