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芯片验证测试及失效分析

 火... [复制链接]
发表于 2010-9-6 15:11:53 | 显示全部楼层 |阅读模式
不错的资料

在现代集成电路制造工艺中,芯片加工需要经历一系列化学、光学、冶金、热加工等工艺环节。每道工艺都可能引入各种各样的缺陷。与此同时由于特征尺寸的不断缩小,各类加工设施成本也急剧上升。例如有人估计90nm器件的一套掩模成本可能超过130万美元。因此器件缺陷造成的损失代价极为高昂。在这种条件下,通过验证测试,分析失效原因,减少器件缺陷就成为集成电路制造中不可少的环节。

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 楼主| 发表于 2010-9-6 15:12:10 | 显示全部楼层
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发表于 2010-9-7 09:57:59 | 显示全部楼层
很专业的资料
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发表于 2010-9-7 10:29:41 | 显示全部楼层
xiexie
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发表于 2010-9-7 12:30:59 | 显示全部楼层

刚开始学,这个资料下载下来,留到以后再看。
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发表于 2010-9-8 15:35:05 | 显示全部楼层
我也正在找这个呢,太好了
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发表于 2016-5-16 11:47:46 | 显示全部楼层
可以學習下
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发表于 2016-5-16 14:14:30 | 显示全部楼层
这个可以有哦
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发表于 2016-5-20 10:09:20 | 显示全部楼层
很好的资料。谢谢
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